1. Khoom Siv Tawm Sab Nraud
Ib qho ntawm cov kev sib tw feem ntau hauv lub tshuab nqus tsevOutgassing-Tus maj mam tso tawm cov roj tawm hauv chav av lossis cov khoom sib xyaw. Cov neeg ua txhaum cai muaj xws li cov dej vapor, pa roj carbon dioxide, thiab cov organic seem adsorbed ntawm cov chaw. Txawm tias cov nyiaj pab ntawm cov roj av no tuaj yeem sib cav sib haum, tshwj xeeb hauv UHV tshuab (kev ntsuas hauv qab 10⁻⁷ PA).
Cov kev daws teeb meem:
- Ci: Lub tsev ua haujlwm tau ua kom sov siab rau qhov kub siab tshaj 300 qib siab los ua kom nrawm dua qhov tso tawm ntawm cov pa roj. Cov txheej txheem no, feem ntau siv nyob rau hauv semiconductor fabrication, txo cov nqi tawm hauv cov nqi tawm.
- Tsawg-outgassing cov ntaub ntawv: Cov ntaub ntawv ib yam li stainless hlau, aluminium alloys, thiab ceramics yog nyiam rau lawv qhov kev tshaj tawm roj av tsawg. Polymers thiab cov nplaum yog zam vim lawv lub peev xwm siab tshaj plaws.
2. Kev sib khi thiab xaim kom pom
Tswj lub foob zoo kawg hauv lub tshuab nqus tsev tsis yog qhov nyuaj. Tsoos roj hmab tso hlua hluav taws xob, nquag mus rau kev ua kom tsis taus thiab cov pa roj av, tsis muaj peev xwm, tsis ua raws li UHV cov kev mob. Txawm tias tsom iav tawm tuaj yeem cuam tshuam kev sim lossis cov txheej txheem kev lag luam.
Cov kev daws teeb meem:
- Hlau Hlau: Tooj liab, kub, lossis cov ntsaws ruaj ruaj yog siv hauv cov ntawv thov tseem ceeb. Cov me me deform los tsim airtight pob qij txha, tiv taus outgassing thiab thermal cycling.
- Helium Pawg Loj Spectrometry: Tus qauv kub rau kev nrawm nrawm, helium huab cua loj tuaj yeem txheeb xyuas cov kua dej me me li10⁻¹² PAHPULTEN \/ SCov. Helium, txhaj tiv thaiv cov dej xau, yog kuaj pom raws li nws dim mus rau hauv lub tshuab nqus tsev, parspontining flaws nrog txawv txav.
3. Tus nqi thiab siv hluav taws xob
Ultra-siab lub tshuab nqus tshuab thov koj cov peev txheej ntau. Ua tiav UHV xav tau lub sijhawm ntev (hnub rau lub lim tiam) siv cov twj tshwj xeeb zoo li cov twj tshwj xeeb lossis crybomolecular lossis cryogenic twj. Cov nqi kho tau sib npaug zos, nrog cov nuj nqis ib xyoos rau cov chaw txuj ci loj feem ntau tau tshaj$ 1 lab USD.
Kev sib tw:
- Lub zog-intensive cov txheej txheem: Kev ua haujlwm txuas ntxiv ntawm cov tshuab nqus tsev siab siv lub zog tseem ceeb.
- Precision Tu: Cheebtsam zoo li ion gauges thiab loj spectrometers xav tau kev ntsuas tsis tu ncua, ntxiv rau kev ua haujlwm nyuaj.
Ua kom muaj tswv yim:
- Txhim Kho Twj Tso Kua Mis Tsim: Hybrid twj tso kua twj sib txuas ua ke rau turbomolecular thiab diaphragm thev naus laus zis txo kev siv hluav taws xob.
- Ntse Saib Xyuas: Ai-tsav lub tshuab tam sim no kwv yees cov txi lossis tso kua mis tsis ua tiav, txhim kho cov sijhawm txij nkawm thiab cov nqi txiav txim.
